【摘要】 一种等浓度化学试剂补充装置，包括储液罐、输液管、补液泵、单向阀、流量计和制绒槽，在补液泵与单向阀之间设有电磁换向阀和溢流阀，溢流阀的出液口和电磁换向阀的回流口均与储液罐相通。补液泵始终处于工作状态，在补液前，电磁换向阀处于关闭状态，溢流阀处于溢流状态，从溢流阀流出的化学试剂直接冲入储液罐中，从而对储液罐中的化学试剂进行搅拌，确保储液罐中化学试剂上下层浓度均匀，补液时，电磁换向阀处于开通状态，溢流阀处于关闭状态，补液泵从储液罐中抽吸化学试剂直接送入制绒槽中，确保每次补充的化学试剂的浓度相同，保证制绒槽中制绒液满足工艺要求，从而提高了制绒工艺的稳定性，确保了硅片的制绒质量。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州亿晶光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201010562079.9 【申请日】2010-11-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102082201A 【公开公告日】2011-06-01 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L31/18; C30B33/10 【发明人】吴旻 【主权项内容】一种等浓度化学试剂补充装置，它包括储液罐(1)、输液管(2)、补液泵(3)、单向阀(4)、流量计(5)和制绒槽(6)，补液泵(3)、单向阀(4)和流量计(5)由输液管(2)串联后设置在储液罐(1)与制绒槽(6)之间，补液泵(3)的吸液口由输液管(2)通入储液罐(1)的底部，流量计(5)的出液口经输液管(2)通入制绒槽(6)中，其特征是：在补液泵(3)与单向阀(4)之间设有电磁换向阀(7)和溢流阀(8)，溢流阀(8)的出液口和电磁换向阀(7)的回流口均与储液罐(1)相通。 【当前权利人】常州亿晶光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320413748721887W 【引证次数】4.0 【被引证次数】2 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】2

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