【摘要】 一种鼓泡搅拌式制绒槽补液装置，它包括储液罐、输液管、补液泵、单向阀、流量计和制绒槽，在储液罐的底部设有鼓泡搅拌部件，所述鼓泡搅拌部件由电磁换向阀、总进气管和鼓气支管组成，总进气管与鼓气支管相通连，总进气管通过电磁换向阀与压力氮气源相通连，在鼓气支管上设有出气孔。只要在补液泵向制绒槽补液前3～5分钟打开电磁换向阀，使带压氮气源向总进气管通气，然后便从鼓气支管上的出气孔冒出，由于储液罐中的化学试剂与氮气不反应，用压力氮气来进行鼓泡式搅拌效果理想，能确保补液前使储液罐中的化学试剂搅拌均匀，从而确保补液泵每次补液的浓度相同，提高了制绒工艺的稳定性，确保了硅片的制绒质量。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州亿晶光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201020628285.0 【申请日】2010-11-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201887067U 【公开公告日】2011-06-29 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201887067U 【授权公告日】2011-06-29 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18; C30B33/10 【发明人】屈莹; 梁雪美 【主权项内容】一种鼓泡搅拌式制绒槽补液装置，它包括储液罐(1)、输液管(2)、补液泵(3)、单向阀(4)、流量计(5)和制绒槽(6)，补液泵(3)、单向阀(4)和流量计(5)由输液管(2)串联后设置在储液罐(1)与制绒槽(6)之间，补液泵(3)的吸液口由输液管(2)与储液罐(1)的底部相通连，流量计(5)的出液口经输液管(2)通入制绒槽(6)中，其特征是：在储液罐(1)的底部设有鼓泡搅拌部件(7)，所述鼓泡搅拌部件(7)由电磁换向阀(71)、总进气管(72)和鼓气支管(73)组成，总进气管(72)与鼓气支管(73)相通连，总进气管(72)通过电磁换向阀(71)与压力氮气源(8)相通连，在鼓气支管(73)上设有出气孔(74)。 【当前权利人】常州亿晶光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320413748721887W 【被引证次数】19 【被自引次数】1.0 【被他引次数】18.0 【家族被引证次数】19

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