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一种扩散炉多重温度控制装置专利

时间:2026-06-05    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种扩散炉多重温度控制装置,具有温控热电偶和检测热电偶,所述的温控热电偶插入到扩散炉的内部,所述的检测热电偶设置在扩散炉的炉壁外表面。利用温控热偶在扩散炉内外进行温度控制,插入扩散炉内部的温控热偶可直接设定温度,直观的调整工艺;外部连接的检测热偶可测量扩散炉壁的温度,宏观的检验扩散炉的设定温度是否达到,从而减少因扩散温度不稳定均匀而导致硅片返工的情况发生,提高了设备利用率。 : 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏顺风光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213169 江苏省常州市武进区雪堰镇工业集中区 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】武进区 【申请号】CN201010566584.0 【申请日】2010-11-30 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102154707A 【公开公告日】2011-08-17 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】C30B31/18 【发明人】陈剑锋; 吴文 【主权项内容】一种扩散炉多重温度控制装置,其特征在于:具有温控热电偶(1)和检测热电偶(3),所述的温控热电偶(1)插入到扩散炉的内部,所述的检测热电偶(3)设置在扩散炉的炉壁外表面。 该数据由<>整理 【当前权利人】江苏顺风光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市武进区雪堰镇工业集中区 【专利权人类型】外商投资企业 【统一社会信用代码】913204127796618561 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4

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