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太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置专利

时间:2026-06-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及晶体硅太阳能电池PECVD镀膜设备技术领域,特别是一种太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置,包括固定支架,铰接机构和风扇,风扇通过铰接机构安装在固定支架上,固定支架安装在镀膜机下料端载车的上方,风扇的角度通过铰接机构进行调节,使风扇吹出的冷却风吹向下料端上的硅片。在下料端安装上本风冷散热装置,调整好风向和大小,能有效地冷却镀膜硅片,防止硅片温度较高导致抓手异常,造成设备报警当机和热应力导致碎片发生。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020548389.0 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201801591U 【公开公告日】2011-04-20 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201801591U 【授权公告日】2011-04-20 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C16/44; H01L31/18 【发明人】李锋 【主权项内容】一种太阳能电池PECVD镀膜机下料端风冷散热装置,其特征是:包括固定支架(3),铰接机构(4)和风扇(2),所述的风扇(2)通过铰接机构(4)安装在固定支架(3)上,固定支架(3)安装在镀膜机下料端载车(1)的上方,铰接机构(4)为可扭转结构,风扇(2)的角度通过铰接机构(4)进行调节,使风扇(2)吹出的冷却风吹向镀膜机下料端载车(1)上的硅片。 【当前权利人】常州天合光能有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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