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太阳能电池硅片扩散炉专利

时间:2026-06-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型公开了一种太阳能电池硅片扩散炉,包括炉体,炉体内设有石英舟,硅片放置于石英舟上,炉体上设有用于扩散气体进入炉体内的进气管和扩散处理后排放尾气的排放管,排放管位于石英舟下方,所述的进气管内所流向硅片的扩散气体沿平行于硅片表面的方向流动。本实用新型解决了由于扩散气体在硅片上分布不均而造成的硅片表面方块电阻均匀性较差的问题。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020263438.6 【申请日】2010-07-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201713608U 【公开公告日】2011-01-19 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201713608U 【授权公告日】2011-01-19 【授权公告年份】2011.0 【发明人】蔡忠心 【主权项内容】一种太阳能电池硅片扩散炉,包括炉体(1),炉体内设有石英舟(2),硅片(3)放置于石英舟(2)上,炉体(1)上设有用于扩散气体进入炉体(1)内的进气管(4)和扩散处理后排放尾气的排放管(5),排放管(5)位于石英舟(2)下方,其特征是:所述的进气管(4)内所流向硅片(3)的扩散气体沿平行于硅片(3)表面的方向流动。 【当前权利人】常州天合光能有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【被引证次数】14 【被他引次数】14.0 【家族被引证次数】14

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