【摘要】本实用新型公开了一种排气管，包括多个顺次连接的排气管段，所述的排气管段为套接结构，在所述的套接口设有用于固定和密封套接口的凸起件。本实用新型在操作过程中无需增加石棉垫，只需将凸起圈与凸沿套接即可，不会产生安装状态不统一的现象，密封性
【摘要】 本实用新型涉及一种半导体加工设备，特别涉及一种单晶硅线切割送线收线装置。单晶硅线切割送线收线装置，包括一个箱体，箱体的一个侧壁上设置有多个张紧轮，还包括由电机驱动的收线轴和放线轴，其特征在于：在箱体的内壁上设置有一对对送线和收线进行控制的调整装置。本实用新型所述的调整装置的调整的精度高，能很好的保证排线的精度，保证了后续的切割工作的顺利进行。 【专利类型】实用新型 【申请人】江苏创大光伏科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213127 江苏省常州市新北区玉龙北路502号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020525663.2 【申请日】2010-09-13 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201895367U 【公开公告日】2011-07-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201895367U 【授权公告日】2011-07-13 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B28D5/04; B28D7/00 【发明人】陈荣兴 【主权项内容】单晶硅线切割送线收线装置，包括一个箱体，箱体的一个侧壁上设置有多个张紧轮，还包括由电机驱动的收线轴和放线轴，其特征在于：在箱体的内壁上设置有一对对送线和收线进行控制的调整装置。 【当前权利人】江苏创大光伏科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区玉龙北路502号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2
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