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降低表面复合减反膜电池的工艺专利

时间:2026-06-04    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 本发明涉及太阳能电池结构及制作工艺技术领域,尤其是一种降低表面复合减反膜电池的工艺,其具有如下工艺步骤:a.硅片进行扩散处理;b.然后对硅片进行去PSG和刻边处理;c.再对硅片表面进行减反和/或钝化处理;d.再在减反和/或钝化处理后的硅片表面进行RIE制绒;e.最后进行丝网印刷,烧结制成成品。本发明通过对传统电池工艺流程步骤改变,改变了传统电池的结构,不直接在硅片表面进行制绒而是在ARC(表面减反射膜)层上进行制绒,这样制绒后可达到同样的表面限光效果,同时也不会在硅片表面造成刻蚀损伤,达到了提升电池效率的目标。 【专利类型】发明授权 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010238256.8 【申请日】2010-07-28 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101976703B 【公开公告日】2011-12-14 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101976703B 【授权公告日】2011-12-14 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18 【发明人】陈亮; 吴国强 【主权项内容】一种降低表面复合减反膜电池的工艺,其特征是:具有如下工艺步骤:a.硅片进行扩散处理;b.然后对硅片进行去PSG和刻边处理;c.再对硅片表面进行减反钝化处理;d.再在减反钝化处理后的硅片表面进行RIE制绒;e.最后进行丝网印刷,烧结制成成品。 【当前权利人】天合光能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】6

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