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径向垂直度检测台专利

时间:2026-06-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 一种径向垂直度检测台,用于光伏行业检测单晶圆棒的径向垂直度,它由底板(10)、转盘(11)、带刻度尺(2-1)的立柱(2)、深度测量尺(7)和分度表(8)组成,立柱(2)的下端具有底座(1),该底座(1)固定在底板(10)上,转盘(11)可旋转地支撑在底板(10)上,深度测量尺(7)和分度表(8)可移动地安装在立柱(2)上,且深度测量尺(7)位于分度表(8)的下方。本发明既能保证单晶圆棒垂直精度,又能保证单晶圆棒对中精度,同时不需要二次检测圆跳动。。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州有则科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213022 江苏省常州市新北区乐山路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010511924.X 【申请日】2010-10-20 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102032857A 【公开公告日】2011-04-27 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102032857B 【授权公告日】2012-11-14 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G01B5/245 【发明人】林玉往; 杨阳; 赵建兴; 王永平; 吴伟忠; 常青 【主权项内容】一种径向垂直度检测台,其特征在于:它由底板(10)、转盘(11)、带刻度尺(2‑1)的立柱(2)、深度测量尺(7)和分度表(8)组成,立柱(2)的下端具有底座(1),该底座(1)固定在底板(10)上,转盘(11)可旋转地支撑在底板(10)上,深度测量尺(7)和分度表(8)可移动地安装在立柱(2)上,且深度测量尺(7)位于分度表(8)的下方。 【当前权利人】江苏有则科技集团有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区科技大道66号 【专利权人类型】有限责任公司n 【引证次数】8.0 【被引证次数】3 【自引次数】1.0 【他引次数】7.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】3

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