【摘要】 本实用新型涉及一种电子束胶光掩模板的去胶装置，安装在机座下部的驱动件其活动杆通过联板与驱动连杆连接，驱动连杆与支座连接；安装在机座上部的外槽体其槽壁四周安装有上喷嘴、底板有排液流道；内槽体通过支承架安装在外槽体内，托架的托盘设置在内槽体内，托盘底面具有环形凸筋，托盘下部的托座穿出内槽体与支座密封连接，托盘上设有支承座、与药液流道相通的药液下出口和周边的药液侧出口，托架的水道出口安装有下喷嘴；支座的药液混合腔与托架上的药液流道相通，支座与药液混合腔相通的两个独立进药孔其出口设有单向阀、进口与药液管道连接，套在支座外侧的柔性密封套密封连接在外槽体和托架的托座上。具有去胶成本低、生产效率高的特点。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州瑞择微电子科技有限公司; 无锡华润微电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213022 江苏省常州市新北区长江中路25号3-318 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020171767.8 【申请日】2010-04-12 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201740971U 【公开公告日】2011-02-09 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201740971U 【授权公告日】2011-02-09 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G03F7/42 【发明人】金海涛; 徐飞; 田炜; 赵延峰; 毛汛 【主权项内容】一种电子束胶光掩模板的去胶装置，其特征在于：包括外槽体(2)、内槽体(3)、托架(5)以及支座(9)、驱动件(15)和机座(11)，安装在机座(11)下部的驱动件(15)其活动杆通过联板(14)与驱动连杆(12)连接，驱动连杆(12)与支座(9)固定连接；安装在机座(11)上部的外槽体(2)沿槽壁四周的上部安装有喷口向下倾斜的上喷嘴(1)、底板具有排液流道；所述的内槽体(3)通过支承架(20)安装在外槽体(2)内，托架(5)的托盘(5‑1)设置在内槽体(3)内，托盘(5‑1)底面具有与内槽体(3)密封的环形凸筋(5‑6)，托盘(5‑1)下部的托座(5‑5)穿出内槽体(3)的开口与支座(9)密封连接，托盘(5‑1)上设有用于支承光掩模板的两个以上的支承座(5‑2)，托盘(5‑1)底部的药液下出口(5‑8)和周边两个以上的药液侧出口(5‑7)与托架(5)内的药液流道(5‑4)相通，托架(5)的水道(5‑3)出口处安装有下喷嘴(21)，托架(5)内的水道(5‑3)和上喷嘴(1)分别与水管连接；所述支座(9)的药液混合腔(9‑3)与托架(5)上的药液流道(5‑4)相通，支座(9)上两个独立的进药孔(9‑2)与药液混合腔(9‑3)相通，且各进药孔(9‑2)的出口处设有单向阀(17)、进口处与药液管道(16)连接，套在支座(9)外侧的柔性密封套(7)两侧分别密封连接在外槽体(2)和托架(5)的托座(5‑5)上。 【当前权利人】常州瑞择微电子科技有限公司; 无锡迪思微电子有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区长江北路25号3号楼一楼西; 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6 【专利权人类型】有限责任公司; 有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320411674863216M; 91320214134759768E 【被引证次数】1 【被自引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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