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改善扩散方阻均匀性的扩散炉专利

时间:2026-06-03    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及扩散炉技术领域,特别是一种改善扩散方阻均匀性的扩散炉,它包括炉管,炉管上的进气口和尾气管,在进气口设置气流均匀分散器。由于现有扩散设备在扩散过程中,工艺气体直接从炉管尾进气口进入炉管,没有分散,造成炉管内气流不均匀,最终造成扩散后方阻均匀性较差。通过在炉尾进气口添加匀流器,可以有效地改善气流均匀性,最终达到方阻均匀性改善的效果。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020547743.8 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201852445U 【公开公告日】2011-06-01 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201852445U 【授权公告日】2011-06-01 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】F27B17/00 【发明人】蒋文曲 【主权项内容】一种改善扩散方阻均匀性的扩散炉,包括炉管(1),炉管(1)上的进气口(2)和尾气管(3),其特征是:在所述的进气口(2)设置气流均匀分散器(4)。 【当前权利人】常州天合光能有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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