【摘要】一种具定制信息功能的刻录装置，可由使用者自行编辑定制信息，包括一文本信息接收单元、一文本数据编译模块、一图形信息接收单元及一图形数据处理模块。文本信息接收单元接收一输入单元所输入的至少一外加文本数据及至少一文本控制数据。文本数据编译
【摘要】 本发明涉及一种硅键合片界面缺陷的检测方法，它包括(1)以振荡频率在1MHz以上的兆声波激活电阻值14MΩ·cm以上的去离子水，形成兆声去离子水波；(2)以所述的兆声去离子水波扫射硅键合片表面；(3)在聚光灯和显微镜下检查经兆声去离子水波扫射过的硅键合片，确定是否存在缺陷和缺陷的种类。该方法用于微电子机械制造中对硅/硅键合片界面的缺陷进行检测，能方便准确地判断其缺陷及其缺陷种类。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国电子科技集团公司第二十四研究所 【申请人类型】企业 【申请人地址】400060重庆市南岸区南坪花园路14号 【申请人地区】中国 【申请人城市】重庆市 【申请人区县】南岸区 【申请号】CN200410092462.7 【申请日】2004-12-24 【申请年份】2004 【公开公告号】CN100369228C 【公开公告日】2008-02-13 【公开公告年份】2008 【授权公告号】CN100369228C 【授权公告日】2008-02-13 【授权公告年份】2008.0 【IPC分类号】H01L21/66 【发明人】冯建 【主权项内容】1.一种硅键合片界面缺陷的检测方法，其特征有在于：该方法为 (1)以振荡频率在1MHz以上的兆声波激活电阻值14MΩ.cm以上的去离 子水，形成兆声去离子水波； (2)以所述的兆声去离子水波扫射硅键合片表面； (3)在聚光灯和显微镜下检查经兆声去离子水波扫射过的硅键合片，确定 是否存在缺陷和缺陷的种类。。微信 【当前权利人】中国电子科技集团公司第二十四研究所 【当前专利权人地址】重庆市南岸区南坪花园路14号 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】4.0
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