【摘要】本实用新型公开了一种微结构微细加工中, 蚀刻 深度传感器。该传感器由激光器、敏感元件、带成像透镜的 CCD器件组成, 可对微细加工中蚀刻深度进行实时检测, 测量相 对误差大于1%, 满足微结构加工的要求。其结构简单, 制造容易, 成
【摘要】 本实用新型涉及一种氧气表, 属于气体测量仪表 技术。它是由压力表、流量表和减压阀组成, 在压力表和流量表 之间设一三通管, 三通管的一端与压力表连接, 其它两端各连接 一个流量表。本实用新型可使两人共用一个氧气瓶, 从而有效地 节约了监护室的使用面积, 缓解了氧气瓶的不足, 具有便于加强 监护室的管理, 减轻护理人员的劳动强度等优点, 并为及时抢救 病人提供了有利条件。。数据由整理 【专利类型】实用新型 【申请人】郑培娟 【申请人类型】个人 【申请人地址】276400山东省临沂市沂水县人民医院 【申请人地区】中国 【申请人城市】临沂市 【申请人区县】沂水县 【申请号】CN98221613.0 【申请日】1998-06-26 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2333007Y 【公开公告日】1999-08-11 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2333007Y 【授权公告日】1999-08-11 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】G01L7/00; G01F1/05 【发明人】郑培娟; 宋传明; 陈宗诗; 沈秀萍; 赵玉君 【主权项内容】1.一种由压力表、流量表和减压阀组成双人用氧气表,其特征在于,在压力表和流量 表之间设一三通管,三通管的一端与压力表连接,其它两端各连接一个流量表。 【当前权利人】郑培娟 【当前专利权人地址】山东省临沂市沂水县人民医院
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