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以金属钛为界面层的非晶金刚石薄膜多层材料、制备方法及其用途专利

时间:2026-05-28    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种以金属钛为界面层的非晶金刚 石薄膜材料,是指在基体材料与非晶金刚石薄膜之间沉积一层 金属钛而制备的多层材料。该材料或经热处理后,能使金属钛 与非晶金刚石薄膜之间形成一层碳化钛过渡层,造成金属钛与 非晶金刚石薄膜之间良好的接触,并降低了界面的势垒高度, 同时使结合力得到增强,增加非晶金刚石薄膜的使用寿命,该 多层材料可广泛地用作微电子及其平板显示器等新型功能器 件的部件。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院上海冶金研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】200050上海市长宁区长宁路865号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】长宁区 【申请号】CN98122070.3 【申请日】1998-12-04 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1227162A 【公开公告日】1999-09-01 【公开公告年份】1999 【IPC分类号】B32B9/00 【发明人】柳襄怀; 王曦; 茅东升; 郑志宏; 杨石奇; 李炜; 李琼; 徐静芳 【主权项内容】1、一种以金属Ti为界面层的非晶金刚石薄膜多层材料,其特征是在基体材料与非晶金刚石薄膜之间沉积一层金属Ti。 【当前权利人】中国科学院上海冶金研究所 【当前专利权人地址】上海市长宁区长宁路865号 【被引证次数】4.0 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4.0

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