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智能超高真空冷阴极电离规控制器专利

时间:2026-05-28    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型提供了一种智能超高真空冷阴极电 离规控制器。它由程控放电电流放大器,高压电源、微处理器 单元和壳体构成。程控放电电流放大器与微处理器单元相连 接,高压电源与程控放电电流放器相连接。本实用新型可以有 效控制国内外超高真空阴阴极电离规管;测量范围宽(1×10-1Pa~5×10-9Pa),精度高;功能完善:具有保护、报警、通讯功能,还具有真空度报警阈值设定、时间显示功能;能与国外真空计媲美,但价格低廉。 【专利类型】实用新型 【申请人】中国科学技术大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】230026安徽省合肥市金寨路96号 【申请人地区】中国 【申请人城市】合肥市 【申请人区县】蜀山区 【申请号】CN98217148.X 【申请日】1998-07-17 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2337545Y 【公开公告日】1999-09-08 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2337545Y 【授权公告日】1999-09-08 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】G01L21/34; G01L21/00 【发明人】高辉; 张允武; 盛六四; 齐飞; 武国华 【主权项内容】1.一种智能超高真空冷阴极电离规控制器,包括微处理器单元[4]和壳体,其特征在 于还包括程控放电电流放大器[2]和高压电源[3],程控放电电流放大器[2]与微处 理器单元[4]相连接,高压电源[3]与程控放电电流放大器[2]相连接。 【当前权利人】中国科学技术大学 【当前专利权人地址】安徽省合肥市金寨路96号 【统一社会信用代码】12100000485001086E 【被引证次数】5.0 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5.0

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