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栅结构电容式微型加速度传感器专利

时间:2026-05-28    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型是一种尺寸小至毫米量级的微型栅 结构电容式加速度传感器, 主要由兼作可动电极的栅状结构质 量块、固定叉指式测量电极、质量块与测量电极构成的电容、 支撑质量块的悬空弹性梁和限位锚点构成。其中, 质量块仅沿X 方向或Y方向运动, 具有良好的选择性。此外, 本传感器中电容 可产生较大变化量, 配上相应测量接口电路, 不但灵敏度高, 而且 有利于信号处理。是一种结构简单, 工艺易于实现, 线性度好的 实用微型加速度固态传感器。 【专利类型】实用新型 【申请人】中国科学院上海冶金研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】200050上海市长宁区长宁路865号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】长宁区 【申请号】CN98224574.2 【申请日】1998-07-14 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2338750Y 【公开公告日】1999-09-15 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2338750Y 【授权公告日】1999-09-15 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】G01P15/125 【发明人】李宝清; 陆德仁; 王渭源 【主权项内容】1、一种栅结构电容式微型加速度传感器,包括质量块、测量电极、 质量块与电极构成的电容和电容测量接口电路,其特征在于有 兼作可动电极的栅状结构质量块、叉指形测量固定电极、支撑 栅状质量块的悬空弹性梁和限位锚点。。数据由整理 【当前权利人】中国科学院上海冶金研究所 【当前专利权人地址】上海市长宁区长宁路865号 【被引证次数】12.0 【被他引次数】12.0 【家族被引证次数】12.0

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