【摘要】 本实用新型涉及一种光致发光光谱扫描成像仪, 由计算机及控制电路、激光源、聚焦透镜、反射镜、扫描台、 吸盘、真空泵、光谱仪和显示器组成。聚焦透镜和反射镜置于 激光器和扫描台之间, 聚焦透镜置于光谱仪与反射镜之间, 计算 机及控制电路置于显示器与光谱仪之间, 扫描台由步进马达驱 动, 吸盘固定在扫描台上, 真空泵与吸盘相连。本实用新型的成 像仪在线测量和显示样品发光峰的积分强度、峰位和半高宽, 以控制外延片的生产质量, 提高成品率。 数据由整理 【专利类型】实用新型 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084北京市海淀区清华园 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98248324.4 【申请日】1998-11-06 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2340001Y 【公开公告日】1999-09-22 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2340001Y 【授权公告日】1999-09-22 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】G02B26/10 【发明人】陈皓明; 董占民; 凌勇; 王秀凤 【主权项内容】1、一种光致发光光谱扫描成像仪，其特征在于该成像仪由计算机及控制电路、 激光源、聚焦透镜、反射镜、扫描台、吸盘、真空泵、光谱仪和显示器组成；所述 的激光源包括电源和激光器，聚焦透镜和反射镜置于激光器和扫描台之间，聚焦透 镜置于光谱仪与反射镜之间，计算机及控制电路置于显示器与光谱仪之间，扫描台 由步进马达驱动，吸盘固定在扫描台上，真空泵与吸盘相连；所述的计算机及控制 电路包括步进电机驱动电路和控制程序软件，步进电机驱动电路由缓冲器和三极管 组成。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华园 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【被引证次数】15.0 【被他引次数】15.0 【家族被引证次数】15.0

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