【摘要】 本发明涉及一种制备薄膜用的设备中的加热装 置。该金属平板型加热器是由耐高温导电材料做成中间为发热 区, 两端为加厚的低电阻区, 用电极引线夹板把金属箔电极与加 热板两端连接, 大电流变压器接到控温仪的可控硅输出端, 变压 器次级输出端接到加热板上, 加热电流感应取样线圈或热电偶 温度取样接到控温仪信号输入端。本发明抗机械冲击力强, 不易 损坏。又因采用电极软连接, 在高温条件下平板加热器不会变 形。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院物理研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100080北京市603信箱88号高存秀 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98101216.7 【申请日】1998-03-30 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1230605A 【公开公告日】1999-10-06 【公开公告年份】1999 【IPC分类号】C23C14/50; C23C14/54 【发明人】周岳亮; 吕惠宾; 陈正豪; 何萌; 郭向欣; 杨国桢 【主权项内容】1．一种制备薄膜的装置中用的金属平板加热器，包括加热板，电极 引线，控温仪，电流取样器，热电偶组成，其特征在于还包括一 个大电流变压器，和金属平板加热板做成两端厚中间薄的形状，金 属箔做的电极由电极引线夹固定在加热板两端；大电流变压器初级 接到可控硅输出端，变压器次级接到加热板上，加热电流用感应线 圈或热电偶取样，它们通过选取取样种类的转换开关与控温仪取 样输入端相连接。 【当前权利人】中国科学院物理研究所 【当前专利权人地址】北京市603信箱88号高存秀 【统一社会信用代码】12100000400012174C 【被引证次数】3.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】3.0

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