【摘要】本实用新型是光刻机环形光栅离轴照明光学系 统, 属于半微米至深亚微米光刻机离轴照明光学系统技术领 域。其特征是在聚光镜与掩模板之间有一个与掩模面平行的环 形光栅板, 它是由在石英基片上刻有间隔不同、深度相同的同心 圆环构成。环形光栅
【摘要】 本发明为一种螺[4.4]壬烷－1，6－二酮的包结拆 分方法。以苯和正己烷为溶剂，将光学纯联二萘酚和外消旋螺 二酮的混合物进行重结晶，重结晶温度为0～－40℃，晶体中 的两组分用硅胶柱层析分离，得光学纯螺二酮和光学纯联二萘 酚，光学纯螺二酮的拆分收率为31.9～38.4%，光学纯联二萘 酚的回收率为94.4%～99.1%。本发明工艺简单，拆分剂联二 萘酚易于回收，具有良好的工业化前景。 （，） 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院成都有机化学研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】610041四川省成都市人民南路四段九号 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】武侯区 【申请号】CN98112086.5 【申请日】1998-06-17 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1239089A 【公开公告日】1999-12-22 【公开公告年份】1999 【IPC分类号】C07C49/443; C07C45/81; C07M7/00; C07C45/00; C07C49/00 【发明人】冯小明; 曾德超; 蒋耀忠; 李智 【主权项内容】1、一种螺[4.4]壬烷-1, 6-二酮的包结拆分方法，其特征在于以苯(或甲苯)、 正己烷为溶剂，将光学纯联二萘酚和外消旋螺[4.4]壬烷-1, 6-二酮的混合物溶解 后，在0～-40℃下保持24～150小时，所得晶体再重结晶一次后用柱层析分离。 【当前权利人】中国科学院成都有机化学研究所 【当前专利权人地址】四川省成都市人民南路四段九号 【统一社会信用代码】12100000450724751M
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