【摘要】亚微米光刻机光栅衍射同轴对准装置，属于对滤 波和照明结构的进一步改进。其特征是激光器发出的光经分光 镜，以水平方向射入胶接成滤波机构一体的小反射镜和反射棱 镜上，光刻机的光刻光和光栅标记的衍射光通过分区镀制各膜 系的滤波板，得到高透
【摘要】 一种均恒自调喷阀，具有阀体、阀瓣和弹性阀瓣 支承结构，阀体具有液流通道，该液流通道具有进流腔和出流 腔，阀瓣位于该液流通道的出流腔之外侧并与该出流腔相配 合，弹性阀瓣支承结构的一端与阀瓣固定连接，其另一端与阀 体固定连接，弹性阀体支承结构对阀瓣施以的弹性支承力使阀 瓣趋于紧贴液流通道的出流腔而将其封闭，在阀瓣的中央特别 地设置有与所述阀体液流通道相通的雾化喷嘴。本喷阀喷流时 均匀、恒定，且在雾化区中部无盲区。 （，） 【专利类型】实用新型 【申请人】李积明 【申请人类型】个人 【申请人地址】610041四川省成都市玉林北街8号三单元 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】武侯区 【申请号】CN98229963.X 【申请日】1998-11-26 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2353969Y 【公开公告日】1999-12-15 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2353969Y 【授权公告日】1999-12-15 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】F16K1/18 【发明人】李积明 【主权项内容】1、一种均恒自调喷阀，具有阀体、阀瓣和弹性阀瓣支承结构，阀体具有液 流通道，该液流通道具有进流腔和出流腔，阀瓣位于该液流通道的出流腔之外侧 并与该出流腔相配合，弹性阀瓣支承结构的一端与阀瓣固定连接，其另一端与阀 体固定连接，弹性阀体支承结构对阀瓣施以的弹性支承力使阀瓣趋于紧贴液流通 道的出流腔而将其封闭，其特征是在所述阀瓣的中央设置有与所述阀体液流通道 相通的雾化喷咀。 【当前权利人】李积明 【当前专利权人地址】四川省成都市玉林北街8号三单元 【引证次数】1.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0
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