【摘要】 本发明属于精密测量技术领域, 包括激光器、起偏 器、磁光调制器、角度传感部件、检偏器、光电探测器、信号 源、锁定放大器、A/D模/数转换器、PC计算机信号处理、显 示单元, 角度传感部件为置于被测物上的一直角棱镜, 棱镜的斜 角面与激光器相对设置; 一直角面镀有激光表面等离子体波的 金属膜; 起偏器、磁光调制器置于棱镜与激光器之间的入射光路 之中。本发明分辨率高, 结构简单, 传感部件仅是一个棱镜, 体积 小, 特别适用于空间受限的场合。 【专利类型】发明申请 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084北京市海淀区清华园 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98124488.2 【申请日】1998-11-13 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1215152A 【公开公告日】1999-04-28 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1090754C 【授权公告日】2002-09-11 【授权公告年份】2002.0 【IPC分类号】G01B11/26; G01N21/41 【发明人】郭继华; 朱兆明; 邓为民 【主权项内容】1．一种高分辨表面等离子体波角度/折射传感器，包括激光器、起偏器、磁光 调制器、角度传感部件、检偏器、光电探测器、信号源、锁定放大器、A/D模/数转 换器、PC计算机信号处理、显示单元，其特征在于，所说的角度传感部件为置于 被测物上的一直角棱镜，该棱镜的斜角面与所说的激光器相对设置；一直角面镀 有激发表面等离子体波的金属膜；所说的起偏器、磁光调制器置于所说的棱镜与 激光器之间的入射光路之中，所说的检偏器、光电探测器置于所说的棱镜与激光 器之间的反射光路之中；所说的锁定放大器、A/D模/数转换器、PC计算机依次 与所说的光电探测器相连，所说的信号源连于所说的磁光调制器与锁定放大器之 间；所说的PC计算机信号处理、显示单元中存储有信号处理程序。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华园 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【被引证次数】20.0 【被自引次数】6.0 【被他引次数】14.0 【家族被引证次数】20.0

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