【摘要】一种远紫外激光光刻装置,包括从尾部至头部均 置于防震台上,尾部是由掺钕钇铝石榴石固体激光器构成的发 光源,中部是倍频结构的波长转换构件,头部是光刻结构的光 刻组件。它主要适用于深层微形结构,微电子以及微小元件的 微细加工。具有性能稳
【摘要】 一种地辊式开卷装置,它包括辊轴固定的地辊2 和换向辊4,换向辊4的轴上有可绕其摆动的摆动辊7,换向 辊4的下部为轴固定的辊6,摆动辊7向上摆动与地辊2构成 地辊,向下摆动与辊6构成夹送辊,换向辊4的轴上有可绕其 转动的铲头5、切割装置3。该装置是将厚卷精整线夹送辊的 拉带原理与地辊装置相结合,得到了一种具有开关、开卷、切 头多种功能的地辊式开卷装置,尤其适合厚卷开卷,开卷后回 卷方便,使开卷取样后的卷形不受影响。 【专利类型】实用新型 【申请人】宝山钢铁(集团)公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】201900上海市宝山区厂前中路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】宝山区 【申请号】CN98205467.X 【申请日】1998-05-29 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2352278Y 【公开公告日】1999-12-08 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2352278Y 【授权公告日】1999-12-08 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】B21C47/16; B21C47/00 【发明人】肖永力 【主权项内容】1.一种地辊式开卷装置,其特征在于:它包括辊轴固定的地辊 2和换向辊4,换向辊4的轴上有可绕其摆动的摆动辊7,换向辊4的下 部为辊轴固定的辊6。 【当前权利人】宝山钢铁股份有限公司 【当前专利权人地址】上海市宝山区富锦路885号 【被引证次数】6.0 【被他引次数】6.0 【家族被引证次数】6.0
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