【摘要】 一种远紫外激光光刻装置，包括从尾部至头部均 置于防震台上，尾部是由掺钕钇铝石榴石固体激光器构成的发 光源，中部是倍频结构的波长转换构件，头部是光刻结构的光 刻组件。它主要适用于深层微形结构，微电子以及微小元件的 微细加工。具有性能稳定，造价低廉，体积小，运行费用低， 操作简便的优点。 【专利类型】实用新型 【申请人】中国科学院上海光学精密机械研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】201800上海市800－211邮政信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】嘉定区 【申请号】CN98225674.4 【申请日】1998-11-19 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2353481Y 【公开公告日】1999-12-15 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2353481Y 【授权公告日】1999-12-15 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】B23K26/06; H01S3/109; B23K26/066 【发明人】沈蓓军; 王润文; 林礼煌; 欧阳斌; 路敦武 【主权项内容】该数据由<>整理 。1.一种远紫外激光光刻装置，包括从尾部至头部均置于防震台(15)上，尾部是以 激光器构成的发光源(1)，头部是光刻结构的光刻组件(13)，光刻组件(13)包括沿光刻 激光束前进方向上依次置有限光板(9)、镜头(10)、光路转折反射镜(11)和光刻工作台 (12)，其特征在于构成尾部的发光源(1)是掺钕钇铝石榴石固体激光器；在尾部与头部 之间的中部置有倍频结构的波长转换构件(2)。 【当前权利人】中国科学院上海光学精密机械研究所 【当前专利权人地址】上海市800－211邮政信箱 【统一社会信用代码】121000004250121703 【被引证次数】4.0 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4.0

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