【摘要】 本发明属于精密测量技术领域, 其方法包括 : 在被 测设备上安装复式光栅; 对每个光栅输出的光电信号进行读数 处理得到每个光栅处的位移测量结果; 计算出相应的导轨运动 的转角误差, 再计算出转角误差所导致的最终误差。把误差从测 量结果中修正掉并显示修正后的结果。其装置包括复式光 栅, PC机的光栅读数装置。本发明具有简单、可靠、成本低等 优点。尤其适用于中低精度的坐标测量设备和加工机床的精度 升级改造。 【专利类型】发明申请 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084北京市海淀区清华园 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98117741.7 【申请日】1998-09-04 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1207494A 【公开公告日】1999-02-10 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1074831C 【授权公告日】2001-11-14 【授权公告年份】2001.0 【IPC分类号】G01B11/02 【发明人】方仲彦; 汤文骏; 张玉坤; 段敏谟 【主权项内容】1．一种采用复式光栅对测量/加工误差进行实时修正的方法，其特征在于，包括以 下步骤： (a)在被测的测量/加工设备的每个坐标方向上安装由多根空间相互平行的光栅组成的 复式光栅； (b)通过光栅读数系统对该复式光栅中每个光栅输出的光电信号进行读数处理得到每 个光栅所在空间位置处的位移测量结果； (c)根据各平行的光栅的位移测量结果的差计算出相应的导轨运动的转角误差，再通 过误差模型实时地计算出上述转角误差所导致的最终误差。 (d)把计算出的误差从测量结果中修正掉并显示修正后的结果。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华园 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【被引证次数】4.0 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】5.0

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