【摘要】一种远紫外激光光刻装置,包括从尾部至头部均 置于防震台上,尾部是由掺钕钇铝石榴石固体激光器构成的发 光源,中部是倍频结构的波长转换构件,头部是光刻结构的光 刻组件。它主要适用于深层微形结构,微电子以及微小元件的 微细加工。具有性能稳
【摘要】 本发明涉及一种高合金线棒材生产工艺流程和 轧机机列, 高合金金属液直接浇入电渣半连续铸造装置, 半连铸 成金属锭, 加热后的热锭经2~4架三辊螺旋斜轧机开坯, 然后进 入横列布置的复二重式无扭无张半连轧粗轧机列, 由粗轧末架 轧机组轧出合金棒材, 或再经横列布置的复二重式无扭无张半 连轧精轧机列和精轧末架轧机组轧出合金线材, 轧件由平围盘 引导, 该一火成材、短流程、高效而灵活的高合金线棒材生产模 式可节能50~60%, 提高成材率20~30%, 降低成本30~40%。。-官网 【专利类型】发明申请 【申请人】方崇实; 方钧 【申请人类型】个人 【申请人地址】100081北京市海淀区紫竹院半壁街90号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98124855.1 【申请日】1998-11-23 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1214967A 【公开公告日】1999-04-28 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1120761C 【授权公告日】2003-09-10 【授权公告年份】2003.0 【IPC分类号】B21B1/18; B21B13/00; B21B1/16 【发明人】方崇实; 方钧 【主权项内容】1、一种高合金线棒材生产工艺流程和轧机机列,它包括4~10 台中频感应电炉(2),提供高合金金属液,2~4台化渣炉(4), 12~20台液体金属电渣半连续铸造装置(3), 1-2座金属锭加热炉 (6),在轧制线上有2~4架三辊螺旋斜轧机(8、10、12)和一系 列Y形三辊轧机或短应力线轧机,其特征在于中频感应电炉(2)炼 出的高合金金属液直接浇入液体金属电渣半连续铸造装置(3),半 连铸成金属锭,金属锭经精整工段(5)精整后,装入加热炉(6), 加热后的热锭经辊道(7、9、11、13),由纵列的2~4架三辊螺旋 斜轧机(8、10、12)进行开坯,然后坯料进入横列布置的复二重式 无扭无张半连轧粗轧机列(14~20),由粗轧末架轧机组(21)轧出 合金棒材,或再经横列布置的复二重式无扭无张半连轧精轧机列 (22~28)和精轧末架轧机组(29)轧出合金线材,轧件从一个二 重机组进入下一个二重机组时,由平围盘引导。 : 【当前权利人】方崇实; 方钧 【当前专利权人地址】北京市海淀区紫竹院半壁街90号; 【被引证次数】13.0 【被自引次数】3.0 【被他引次数】10.0 【家族被引证次数】14.0
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