【摘要】 本发明的聚酰亚胺内涂胶及其制备方法, 涉及一 种聚酰亚胺薄膜, 该内涂胶中包括有机溶剂(85—95)、芳香族四 酸二酐(5.0—10)、芳香族二胺混合物(1.0—6.0)、以及有机硅分 子量调节剂和增粘剂(0.01—2.0)。本发明的聚酰胺酸内涂胶为 均匀透明的液体, 储存稳定性好, 可涂覆在单晶硅、SiO2、Al或Ni等金属的表面, 经加热固化后制成微电子器件的缓冲内涂膜、芯片保护钝化膜或多层金属互联结构的层间绝缘膜等。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院化学研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100080北京市海淀区中关村北1街2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98100003.7 【申请日】1998-01-04 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1222549A 【公开公告日】1999-07-14 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1074032C 【授权公告日】2001-10-31 【授权公告年份】2001.0 【IPC分类号】C09D177/00; C09D179/00; C09D179/08 【发明人】杨士勇 【主权项内容】1．一种聚酰胺酸内涂胶，其特征在于所述的聚酰胺酸内涂胶包括如下组份 和含量(重量百分数)： 组份？？？？？？？？？？？？？？？？含量 有机溶剂？？？？？？？？？？？85-95 芳香族四酸二酐？？？？？5.0-10 芳香族二胺(1)？？？？？？0.5-3.0 芳香族二胺(2)？？？？？？0.5-3.0 有机硅分子量？？？？？？？0.01-2.0 调节剂和助粘剂 以上百分含量之和应等于100％；所述的芳香族二胺(1)是含有两个或两个 以上苯环且每个苯环上只含有一个氨基的芳香族有机二胺；芳香族二胺(2)是 含一个苯环且该苯环上联接两个氨基的有机二胺；所述的有机硅分子量调节剂 和助粘剂是含有至少一个氨基的有机硅化合物及其混合物。 【当前权利人】中国科学院化学研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区中关村北1街2号 【统一社会信用代码】12100000400012238A 【引证次数】2.0 【被引证次数】7.0 【他引次数】2.0 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】8.0

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