【摘要】 一种连续激光的时间调制和空间分束装置, 包含 沿着激光器输出连续激光束前进方向上, 依次置有前置聚焦镜, 含有m(m≥5)个反射平面的正多面柱体的转镜, 与前置聚焦镜 在转镜的反射平面上共焦的后置聚焦镜, 由n(n≥1)个无间隙排 列的聚焦镜构成的分束聚焦镜。分束聚焦镜将经过调制的分束 后光束聚焦在样品表面上。上述本发明的分束装置结构简单可 靠地将一束连续的激光束变成了多束脉冲激光束, 是激光加工 设备上理想的分束装置。 ： 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院上海光学精密机械研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】201800上海市800-211邮政信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】嘉定区 【申请号】CN98110772.9 【申请日】1998-04-09 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1231225A 【公开公告日】1999-10-13 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1081341C 【授权公告日】2002-03-20 【授权公告年份】2002.0 【IPC分类号】B23K26/06; G02B26/10; B23K26/067; G02B26/12 【发明人】钱红斌; 胡文富; 唐国根; 何世新; 陈兰英; 吴怀英 【主权项内容】1．一种连续激光的时间调制和空间分束装置，含有输出为连续激光束Gr的激光器(1)、聚焦镜(6)、(8)和分束聚焦镜(9)，其特征在于具体结构是： <1>沿激光器(1)输出连续激光束Gr前进的方向上，首先是前置聚焦镜(6)，前置聚焦镜(6)的焦点O焦在转镜(7)的反射平面上； <2>沿转镜(7)反射的反射光束Gf前进的方向上置有后置聚焦镜(8)，后置聚焦镜(8)的焦点也是焦在转镜(7)的反射平面上，并与前置聚焦镜(6)的焦点O重合； <3>沿后置聚焦镜(8)射出的平行光束Gb前进的方向上置有分束聚焦镜(9)； <4>分束聚焦镜(9)的焦点焦在样品(10)的表面上。 【当前权利人】中国科学院上海光学精密机械研究所 【当前专利权人地址】上海市800－211邮政信箱 【统一社会信用代码】121000004250121703 【被引证次数】8.0 【被他引次数】8.0 【家族被引证次数】9.0

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