【摘要】 一种大面积透射光栅软X射线光谱仪, 包括机械 构件和光学元件两大部分。机械构件包括头部衔接管的接口法 兰与真空靶室窗口密接, 衔接管的衔接法兰与外套筒的前衔接 法兰衔接, 外套筒内固定于头部衔接法兰上有装有悬挂式导轨 的斜拉加强筋的支撑板。光学元件包括沿着软X射线束S前进 方向上, 依次有矩形光阑, 分别置于导轨上五维调整架上作为反 射镜的轮胎镜和无支撑大面积透射光栅。它具有结构简单、调 节方便、分辨率高、光谱分辨率可达0.05nm的优点。 微信 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院上海光学精密机械研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】201800上海市800－211邮政信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】嘉定区 【申请号】CN98122013.4 【申请日】1998-11-19 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1214451A 【公开公告日】1999-04-21 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1067763C 【授权公告日】2001-06-27 【授权公告年份】2001.0 【IPC分类号】G01J3/18; G01J3/12 【发明人】邓建; 张正泉; 徐至展; 钟方川; 覃岭 【主权项内容】1．一种大面积透射光栅软X射线光谱仪，包括机械构件和光学元件两大部分，机械构件包括头部(1)、导轨(4)、作为外壳的外套筒(5)和调整架(9)、(10)，光学元件包括反射镜(6)、光阑(13)、光栅(7)、接收器件(8)和显示器件(12)，其特征在于具体结构是： <1>机械构件的头部(1)是由一衔接管(102)，前端带有与真空靶室窗口(14)真空密接的接口法兰(101)和后端带有衔接法兰(103)所构成； <2>上述头部(1)的衔接法兰(103)上固定有带斜拉加强筋(3)的支撑板(2)，加强筋(3)上装有悬挂式的导轨(4)，导轨(4)上置有五维调整的调整架(9)、(10)； <3>头部(1)后端是外套筒(5)，外套筒(5)是由筒体(502)，前端带有与头部(1)衔接法兰(103)密接的前衔接法兰(501)和后端是装有接收器件(8)的后衔接法兰(503)所构成； <4>光学元件包括沿着由软X射线源(11)发射的软X射线束S前进方向上，依次置有矩形光阑(13)，置于调整架(9)上作为反射镜(6)的轮胎镜，置于调整架(10)上的无支撑大面积透射光栅(7)，接收器件(8)和与其输出相联的显示器件(12)。 （，） 【当前权利人】中国科学院上海光学精密机械研究所 【当前专利权人地址】上海市800—211邮政信箱 【统一社会信用代码】121000004250121703 【被引证次数】8.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】7.0 【家族被引证次数】8.0

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