【摘要】 本实用新型属沉积大面积金刚石膜用的灯丝排 布固定装置。由支腿(3)和横在两支腿上的灯丝固定器(2)构成支 架, 支架内是空心连通的, 直热灯丝(1)排布成栅状, 绕过灯丝固 定器(2)下底面联接弹簧(9)再挂在灯丝挂板(4)上。钨杆调节块(6) 和调节螺钉(7)可使钨杆(8)在钨杆调节块的长孔内前后移动, 本 实用新型具有灯丝平整热场均匀、电接触良好、铜制的支架不 粘附沉积物等特点, 结构简单、使用方便、工作稳定、特别适合 长时间使用制备大面积金刚石膜。 【专利类型】实用新型 【申请人】吉林大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】130023吉林省长春市解放大路123号 【申请人地区】中国 【申请人城市】长春市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN98214049.5 【申请日】1998-05-15 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2325390Y 【公开公告日】1999-06-23 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2325390Y 【授权公告日】1999-06-23 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】C04B41/00 【发明人】吕宪义; 金曾孙; 姜志刚; 邹广田 【主权项内容】1、一种用于沉积大面积金刚石膜的灯丝排布固定装置，由直热灯丝(1)构 成栅状热丝，安装在灯丝支架上，其特征在于，所说的灯丝支架由四根铜制支腿 (3)和分别横在两根支腿(3)之间的铜制灯丝固定器(2)组成，支腿(3)和灯丝固定 器(2)内是空心连通的，其间通冷却水；在灯丝固定器(2)上面，固定有灯丝挂板 (4)，每根直热灯丝(1)两端分别绕过两个灯丝固定器(2)的下底面，或直接挂在 灯丝挂板(4)的小孔上，或连接一条弹簧(9)再挂在灯丝挂板(4)的小孔上，但至 少有一端必须连接弹簧(9)再挂在小孔上。 【当前权利人】吉林大学 【当前专利权人地址】吉林省长春市解放大路123号 【统一社会信用代码】121000004232040648 【被引证次数】3.0 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】3.0

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