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微波晶体管金属化布线加固结构专利

时间:2026-05-25    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 一种微波晶体管金属化布线加固结构, 属于微波 晶体管制造技术领域。包含发射区、覆盖于发射区上的欧姆接 触层, 部分覆盖发射区并在欧姆接触层下部的绝缘层, 覆盖于欧 姆接触层上的阻挡层和覆盖于阻挡层上的上金属化层, 其特征 在于 : 距欧姆接触层引出部分边缘一定距离处有一横断该层的 回流间隙, 阻挡层通过回流间隙与绝缘层相接触。该结构能有效 克服电迁徒现象的发生, 提高器件寿命和可靠性。 -官网 【专利类型】实用新型 【申请人】北京工业大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100022北京市朝阳区平乐园100号张慧转 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN98206546.9 【申请日】1998-07-01 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2331082Y 【公开公告日】1999-07-28 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2331082Y 【授权公告日】1999-07-28 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】H01L21/328; H01L29/70; H01L21/02; H01L29/66 【发明人】李志国; 孙英华; 张炜 【主权项内容】1.一种微波晶体管金属化布线加固结构,包含发射区(6),覆盖于发射区(6)上的 欧姆接触层(13),覆盖发射区(6)并在欧姆接触层(13)下部的绝缘层(12), 覆盖于欧姆接触层(13)上的阻挡层和覆盖于阻挡层上的上金属化层(15),其特 征在于:距欧姆接触层引出部分边缘(10)一定距离处有一横断欧姆接触层(13) 的回流间隙(9),阻挡层通过回流间隙(9)与绝缘层(12)相接触。 【当前权利人】北京工业大学 【当前专利权人地址】北京市朝阳区平乐园100号张慧转 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12110000400687411U

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