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激光干涉仪检测直线度

时间: 2020-04-13    作者:admin 点击: ( 1043 ) 次

一:

激光干涉仪检测直线度技术百科

问题1:激光干涉仪的应用
激光干涉仪检测直线度答:SJ6000激光干涉仪主要应用如下:1具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;。

问题2:机床精度检测方面,导轨直线度误差常用检测方法有
答:导轨直线度误差常用检测方法有:研点法、平尺拉表比较法、垫塞法、拉钢丝检测法和水平仪检测法、光学平直仪(自准直仪)检测法等。

问题3:请问大家自准直仪,激光干涉仪都是精密测量工具有
答:准直仪测量的是直线度,也就是目标的移动轨迹,如果是线激光+PSD原理的,精度跟重复性都可以达到0001mm级别。激光干涉仪主要是用来测量目标的定位精度的,也就是说测量目标的实际移动距离与控制系统的指令是否吻合,这个精度可以达到纳米的级。

问题4:激光干涉仪的分类
答:激光干涉仪有单频的和双频的两种。在氦氖激光器上,加上一个约003特斯拉的轴向磁常由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振。

三 :

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