【摘要】 本发明公开了一种硅烷法流化床生产高纯粒状多晶硅装置及工艺。流化床反应器上部为反应器加热区，下部为反应器反应区，流化床反应器顶部设有硅晶种加入口、反应器尾气出口，流化床反应器底部设有反应气硅烷进气入口、多晶硅颗粒产品取出口，流化床反应器下部设有反应气氢气进入口；反应器尾气出口、尾气一级冷却器、尾气二级冷却器、压缩机、吸附塔、尾气分析系统顺次相连；气液分离罐入口管线、气液分离罐、气液分离罐液态硅烷出口管线、尾气一级冷却器、返回提纯系统的硅烷管线顺次相连；混合气体直接返回管线、反应器硅烷进气入口顺次相连；气液分离罐顶部设有分离后氢气出口。本发明具有投资少，能耗低，成本低，无污染排放等优势。 【专利类型】发明授权 【申请人】浙江中宁硅业有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】324000 浙江省衢州市高新园区华荫北路27号 【申请人地区】中国 【申请人城市】衢州市 【申请号】CN201210281841.5 【申请日】2012-08-09 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102815702B 【公开公告日】2014-03-12 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102815702B 【授权公告日】2014-03-12 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C01B33/03 【发明人】陈德伟; 陈惠祥; 郑安雄; 廖敏 【主权项内容】1.一种硅烷法流化床生产高纯粒状多晶硅装置，其特征在于包括反应气氢气进入口(1)、反应气硅烷进气入口(2)、 硅晶种加入口(3)、反应器加热区(4)、反应器反应区(5)、多晶硅颗粒产品取出口(6)、反应器尾气出口(7)、尾气一级冷却器(8)、尾气二级冷却器(9)、压缩机(10)、气液分离罐入口管线(11)、气液分离罐(12)、气液分离罐氢气出口管线(13)、气液分离罐液态硅烷出口管线(14)、返回提纯系统的硅烷管线(15)、混合气体直接返回管线(16)、尾气分析系统(17)、吸附塔(18) ；流化床反应器上部为反应器加热区(4)，流化床反应器下部为反应器反应区(5)，流化床反应器顶部设有硅晶种加入口(3)、反应器尾气出口(7)，流化床反应器底部设有反应气硅烷进气入口(2)、多晶硅颗粒产品取出口(6)，流化床反应器下部设有反应气氢气进入口(1)；反应器尾气出口(7)、尾气一级冷却器(8)、尾气二级冷却器(9)、压缩机(10)、吸附塔(18)、尾气分析系统(17)顺次相连；气液分离罐入口管线(11)、气液分离罐(12)、气液分离罐液态硅烷出口管线(14)、尾气一级冷却器(8)、返回提纯系统的硅烷管线(15)顺次相连；混合气体直接返回管线(16)、反应器硅烷进气入口(2)顺次相连；气液分离罐(12)顶部设有分离后氢气出口(13)。 【当前权利人】浙江中宁硅业有限公司 【当前专利权人地址】浙江省衢州市高新园区华荫北路27号 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】7

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