【摘要】 本发明公开了一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法，包括以下步骤：选择衬底，并进行栅介质层及输入端电极的制备，或者，选择衬底，在衬底上制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极；采用电子束蒸发设备和氧化锡蒸发料，沉积氧化亚锡薄膜，之后进行第一次热退火处理，完成氧化亚锡沟道层的制备；制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极，进行第二次退火处理，或者制备栅介质层及输入端电极，进行第二次退火处理，从而制备底栅结构或者顶栅结构的反相器；本发明制备方法简单可控，制备的双极性氧化亚锡反相器可同时工作在第一和第三象限，且具有较高的增益，在光电子器件、镜片、车窗、广告、医疗设备等领域中应用前景十分广阔。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院宁波材料技术与工程研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】镇海区 【申请号】CN201210040980.9 【申请日】2012-02-22 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102593063B 【公开公告日】2014-04-23 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102593063B 【授权公告日】2014-04-23 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L21/8254; H01L21/84 【发明人】曹鸿涛; 梁凌燕; 刘志敏 【主权项内容】一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法，包括以下步骤：1)选择衬底，并进行栅介质层及输入端电极的制备；2)采用电子束蒸发设备和氧化锡蒸发料，沉积氧化亚锡薄膜，之后进行第一次热退火处理，完成氧化亚锡沟道层的制备；所述的第一次热退火处理的条件：在300℃至450℃热退火处理1分钟至20分钟；3)制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极，进行第二次退火处理，完成底栅结构的双极性氧化亚锡反相器的制备；所述的第二次热退火处理的条件：在350℃至400℃热退火处理10分钟至20分钟；所述的输出端电极、电源供应端电极及接地电极均采用双层薄膜电极，所述的双层薄膜电极为镍和金的复合双层薄膜电极。 【当前权利人】中国科学院宁波材料技术与工程研究所 【当前专利权人地址】浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 【统一社会信用代码】121000007178168758 【被引证次数】2 【被自引次数】2.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】5

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