【摘要】 一种钛铝银氮纳米复合涂层及其制备方法，其特征在于组成主要包含粒径在8~33nm的钛铝氮纳米晶粒和分布在钛铝氮纳米晶晶界之间的银；其中，钛铝银氮纳米复合涂层含银3~8at.%，含氮45~50at.%，余量为钛铝；步骤依次为：将金属或合金基底装入镀膜设备的腔体内后抽真空，加热并稳定，通入Ar；设置样品台旋转，并开启基底偏压，接着开启铬靶起辉电源并溅射；通入N2，按时间线性提高N2流量控制Ar/N2流量比；步骤4，开启钛铝靶起辉电源并迅速将钛铝靶电流密度提高；同时，将银靶电流密度也提高到；依次地，关闭钛铝靶，关闭银靶，关闭基底加热电源，关闭N2通入；最后取出镀膜样品；其硬度更高、断裂韧性更高、在400~600℃环境下摩擦系数和磨损率更低。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国兵器科学研究院宁波分院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】315103 浙江省宁波市高新区凌云路199号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】鄞州区 【申请号】CN201210550396.8 【申请日】2012-12-17 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103774089A 【公开公告日】2014-05-07 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103774089B 【授权公告日】2016-08-17 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】C23C14/06; C23C14/34 【发明人】洪春福; 刘智勇; 杨润田; 钱坤明 【主权项内容】一种钛铝银氮纳米复合涂层，其特征在于：组成主要包含粒径在8~33nm的钛铝氮纳米晶粒和分布在钛铝氮纳米晶晶界之间的银；其中，钛铝银氮纳米复合涂层含银3~8at.%，含氮45~50at.%，余量为钛铝。 【当前权利人】中国兵器科学研究院宁波分院 【当前专利权人地址】浙江省宁波市高新区凌云路199号 【统一社会信用代码】12330200720484461C 【引证次数】2.0 【被引证次数】2 【他引次数】2.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】2

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