【摘要】 本发明公开了一种硅片切割液中的水溶性切割液的回收方法，通过对硅片切割废液的搅拌、分离、脱色、过滤及真空状态下蒸发回收利用水溶性切割液，本方法操作方便，且通过该方法加工的水溶性切割液利用率高，提高硅片质量和生产效率，实现TTV10μm以下的高精度加工，切割硅片合格率达98%以上，金刚砂线1mm/min高速切割时使用本方法回收的水溶性切割液，生产能力比传统机型利用悬浮砂浆切割方式生产提高2倍以上；另外，本发明不仅提高了企业经济效益，同时减少了聚乙二醇、碳化硅带来的污染，大大降低了CO的排放量，保护了环境资源。。 【专利类型】发明授权 【申请人】镇江浩宇能源新材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】212200 江苏省镇江市扬中市新材料工业园 【申请人地区】中国 【申请人城市】镇江市 【申请人区县】扬中市 【申请号】CN201210255990.4 【申请日】2012-07-23 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102746934B 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102746934B 【授权公告日】2014-03-26 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C10M175/00; C01B33/037 【发明人】姚天宇 【主权项内容】1.一种硅片切割液中的水溶性切割液的回收方法，其特征在于，包括如下步骤： A、将硅片切割废液搅拌均匀，再经离心沉降分离器分离出固体组分和半成品切割液； B、固体组分通过压滤机进行分离，分离出硅粉及半成品切割液； C、将步骤B过滤得到的半成品切割液并入半成品切割液中，再经压滤机分离，得到硅粉及半成品水溶性切割液； D、提取水溶性切割液，将步骤C中收集得到的半成品水溶性切割液进行脱色处理； E、对脱色后的半成品水溶性切割液通过助滤剂进行过滤； F、对过滤后的半成品水溶性切割液进行树脂交换，将半成品水溶性切割液中的金属液态离子分离出来； G、对步骤F处理后的半成品水溶性切割液进行蒸发脱水，得到水溶性切割液；步骤A中硅片切割废液搅拌转速为150-300r/min；所述离心沉降分离器的转速为700-900r/min；所述压滤机的压力为0.6-0.8MPa；采用活性碳对半成品水溶性切割液进行脱色处理，活性碳：半成品水溶性切割液=5.3-6.3 : 1000，按重量比计；所述半成品水溶性切割液进行蒸发脱水，在真空状态下进行，压力为0.09-0.1MPa, 温度为65度-70度，蒸汽压力为：0.1MPa；步骤F处理后的半成品水溶性切割液的电导小于5μS/cm，pH为6.8；步骤E中对脱色后的半成品切割液通过助滤剂进行过滤时，先将助滤剂涂抹在过滤机的腔体内周面上，在过滤机的内周面上形成助滤膜，再将半成品切割液流过，对半成品切割液进行过滤。 【当前权利人】江苏美科太阳能科技股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省镇江市扬中经济开发区光明路198号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91321182566893151J 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】9

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