【摘要】 本发明公开了一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具及其使用方法，用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具包括边框架及在所述边框架上的开口，其特征在于, 所述边框架包括两组相对共四条对边并在四条对边中央形成中空区域，所述开口为位于四条所述对边上的长条开口或离散开口；所述对边由内边和外边构成，所述开口位于所述内边和所述外边之间。本发明提供的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具可以将掩模板四边联接并固定使其具有一定的张力从而使其表面平整，在经过相应的处理线时，不出现形变，提高产品质量，减少报废率，节约生产成本，提升效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山允升吉光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210525031.X 【申请日】2012-12-10 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103866228A 【公开公告日】2014-06-18 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103866228B 【授权公告日】2018-04-27 【授权公告年份】2018.0 【IPC分类号】C23C14/04; H01L51/56 【发明人】魏志凌; 高小平; 王海峰; 杨志龙 【主权项内容】一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具，包括边框架及在所述边框架上的开口，其特征在于，所述边框架包括两组相对共四条对边并在四条对边中央形成中空区域，所述开口为位于四条所述对边上的长条开口或离散开口；所述对边由内边和外边构成，所述开口位于所述内边和所述外边之间。 【当前权利人】昆山允升吉光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583688327262Q 【引证次数】7.0 【被引证次数】1 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】1

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