【摘要】 本发明提供一种石墨发热体加热炉内碳素材料表面直接沉积SiC涂层的方法，包括以下步骤：(1)以石墨发热体加热炉体作为沉积炉，将其抽真空，真空度达到10-1Pa以下；(2)将石墨发热体加热炉内温度升高至1000～1200℃；(3)以氢气为载气，通过鼓泡法把三氯甲基硅烷带入石墨发热体加热炉腔内，载气流量根据炉体尺寸调节，流量为200～800ml/min，同时以氩气作为稀释气体，其流量为200～800ml/min，保持加热炉腔内压力为3×103～105Pa，沉积20～50小时，冷却后，碳素材料表面出现SiC涂层。本发明具有制备过程不需要专用化学气相沉积设备，制备SiC涂层质量好，涂层厚度大且灵活可控。 【专利类型】发明申请 【申请人】苏州宏久航空防热材料科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215400 江苏省太仓市城厢镇人民南路162号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】太仓市 【申请号】CN201210268835.6 【申请日】2012-08-01 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103570378A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C04B41/85 【发明人】陈照峰; 刘勇 【主权项内容】一种石墨发热体加热炉内碳素材料表面直接沉积SiC涂层的方法，其特征包括下述顺序的步骤：(1)以石墨发热体加热炉体作为沉积炉，将其抽真空，真空度达到10-1Pa以下；(2)将石墨发热体加热炉内温度升高至1000～1200℃，升温速率为8～12℃每分钟；(3)以氢气为载气，通过鼓泡法把三氯甲基硅烷带入石墨发热体加热炉腔内，载气流量根据炉体尺寸调节，流量为200～800ml/min，同时以氩气作为稀释气体，其流量为200～800ml/min，保持加热炉腔内压力为3×103～105Pa，沉积20～50小时，冷却后，碳素材料表面出现SiC涂层。 【当前权利人】苏州宏久航空防热材料科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省太仓市城厢镇人民南路162号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320585585561523G 【引证次数】2.0 【被引证次数】9 【他引次数】2.0 【被自引次数】6.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】9

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