【摘要】 本发明公开了一种晶圆显影装置及方法，该显影装置包括旋转装置和喷淋装置，所述喷淋装置位于旋转装置上方，且包括显影液喷淋装置，所述显影液喷淋装置包括输送管，泵，储液罐和二通阀，所述泵与所述输送管一端互通连接，所述储液罐位于所述输送管中间且通过二通阀相互连接；其中，该显影液喷淋装置还包括向所述泵触发加压信号的电磁阀。当电磁阀打开时，由于显影液喷淋装置在喷显影液之前处于闭合状态，显影液喷淋装置将会加压但不喷显影液。通过上述方法保证了设定显影液喷液时间与实际显影液喷液时间一致，从而可杜绝显影液未铺满的工艺缺陷。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210310122.1 【申请日】2012-08-29 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103631100A 【公开公告日】2014-03-12 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】G03F7/30; H01L21/00 【发明人】徐春云 【主权项内容】一种晶圆显影装置，其包括旋转装置和喷淋装置，所述喷淋装置位于旋转装置上方，且包括显影液喷淋装置，所述显影液喷淋装置包括输送管，泵，储液罐和二通阀，所述输送管的一端位于所述旋转装置上方，而所述输送管另一端与所述泵互通连接，所述储液罐用于盛放显影液且由所述二通阀相连于所述输送管；其特征在于：所述显影液喷淋装置还包括向所述泵触发加压信号的电磁阀。 【当前权利人】无锡华润上华半导体有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J 【引证次数】5.0 【被引证次数】2 【他引次数】5.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】2

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