【摘要】 本发明涉及一种基于微机电系统动镜的傅里叶变换微光谱仪, 包括迈克尔逊干涉仪、信号采集处理器和光电探测器，迈克尔逊干涉仪包括光源、第一分光镜、第二分光镜、MEMS微镜和静镜，它们彼此之间通过连接对样品实现扫描。本发明设计的基于微机电系统动镜的傅里叶变换微光谱仪实现了结构的微型化，提高了设备的便携型，能够保证MEMS微镜的线性移动，而且降低了整个设备的成本。 【专利类型】发明授权 【申请人】无锡微奥科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214135 江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园C栋辅楼302室 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210065850.0 【申请日】2012-03-14 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102607701B 【公开公告日】2014-11-05 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102607701B 【授权公告日】2014-11-05 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01J3/45; G01N21/27 【发明人】陈巧; 谢会开; 周亮; 严冬梅; 管帅; 傅霖来; 兰树明 【主权项内容】一种基于微机电系统动镜的傅里叶变换微光谱仪，包括迈克尔逊干涉仪、信号采集处理器和光电探测器；迈克尔逊干涉仪包括光源、第一分光镜、第二分光镜、动镜和静镜，光源射出的光束经第一分光镜分离为两束光束，其中一束光束射向被测物体，经被测物体反射的光束经第一分光镜后与另外一束光束合并射向第二分光镜上，第二分光镜将光束分为两路，一路射到静镜面上，一路射到动镜面上，经静镜、动镜反射后的两束光在第二分光镜处汇合形成迈克尔逊干涉光路；迈克尔逊干涉光路信号被射到光电探测器上，光电探测器将光信号转化为电信号输送至信号采集处理器中，通过傅立叶变换对包含样品信息的光谱进行复原，分析光谱得到样品信息，同时，信号采集处理器的输出端与动镜的控制端连接，其特征在于：所述动镜是MEMS电热驱动微镜；还包括光电位置探测器和第三分光镜，所述迈克逊干涉仪射出的迈克逊干涉光路被射到第三分光镜上，第三分光镜将迈克尔逊干涉光路分成两路，一路包含样品信息的干涉光信号被射到光电探测器上，另一路包含MEMS微镜运动信息的光路被射到光电位置探测器上，光电位置探测器将光信号转化为电信号传输至信号采集处理器中，信号采集处理器根据接收到的信号控制MEMS微镜进行线性移动，所述光电位置探测器是四象限光电位置探测器。 【当前权利人】无锡微文半导体科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号B2-305 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320214560327474W 【引证次数】4.0 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】13

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