【摘要】 本发明涉及一种基于石墨烯的阵列式柔性压力分布传感器，其包括柔性衬底，所述柔性衬底上设有石墨烯薄膜阵列，所述石墨烯薄膜阵列内包括至少一个石墨烯导电体，所述石墨烯导电体与柔性衬底上的行电极及列电极电连接。本发明通过在柔性衬底上设置石墨烯薄膜阵列，石墨烯薄膜阵列内的石墨烯导电体与行电极、列电极电连接，当石墨烯导电体受到压力产生形变时，能通过行电极、列电极输出相应的检测信息，例如电压的变化，检测精度高；使用寿命更长；更加轻薄，使得做成的传感器更加轻薄；用于牙齿咬合压力分布、足底压力分布、轮胎压力分布等需要压力分布测量的领域；提高了使用范围，安全可靠。 【专利类型】发明授权 【申请人】江苏物联网研究发展中心 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210013024.1 【申请日】2012-01-16 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102564657B 【公开公告日】2014-08-13 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102564657B 【授权公告日】2014-08-13 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01L1/18 【发明人】王雯; 王慰; 康威; 胡庆庆; 武斌 【主权项内容】一种基于石墨烯的阵列式柔性压力分布传感器制备方法，所述基于石墨烯的阵列式柔性压力分布传感器，包括柔性衬底(100)，所述柔性衬底(100)上设有石墨烯薄膜阵列(301)，所述石墨烯薄膜阵列(301)内包括至少一个石墨烯导电体(310)，所述石墨烯导电体(310)与柔性衬底(100)上的行电极(210)及列电极(220)电连接；其特征是，所述压力分布传感器的制备方法包括如下步骤：(a)、在柔性衬底(100)上形成石墨烯薄膜阵列(301)，所述石墨烯薄膜阵列(301)内的石墨烯导电体(310)间通过行间隔(201)、列间隔(202)相隔离；(b)、在柔性衬底(100)上设置形成行电极(210)或列电极(220)，所述行电极(210)、列电极(220)分别位于行间隔(201)、列间隔(202)内；行电极(210)、列电极(220)与石墨烯导电体(310)电连接；(c)、在上述行电极(210)或列电极(220)上设置绝缘层(400)，所述绝缘层(400)位于行间隔(201)与列间隔(202)的交汇处；(d)、在上述柔性衬底(100)上设置形成列电极(220)或行电极(210)，所述列电极(220)、行电极(210)分别位于列间隔(202)、行间隔(201)内；还包括步骤(e)、在上述石墨烯薄膜阵列(301)、行电极(210)及列电极(220)上设置保护层；所述步骤(a)中，在柔性衬底(100)上形成石墨烯薄膜阵列(301)包括如下步骤：(a1)、提供基础衬底(000)，在所述基础衬底(000)上生长石墨烯薄膜(300)；(a2)、刻蚀上述基础衬底(000)上的石墨烯薄膜(300)，以形成石墨烯薄膜阵列(301)，所述石墨烯薄膜阵列(301)包括若干行间隔(201)与列间隔(202)分隔形成的石墨烯导电体(310)；(a3)、在上述石墨烯薄膜阵列(301)上涂覆中间过渡层(001)，所述中间过渡层(001)填充于行间隔(201)、列间隔(202)内；干燥固化后，使得石墨烯薄膜阵列(301)嵌置于中间过渡层(001)内；(a4)、去除上述基础衬底(000)，得到石墨烯中间结合体(110)；(a5)、将上述石墨烯中间结合体(110)转移到柔性衬底(100)上，并去除石墨烯薄膜阵列(301)上的中间过渡层(001)；所述中间过渡层(001)的材料为PMMA；所述行电极(210)、列电极(220)及绝缘层(400)通过丝网印刷或CVD方法形成；所述基础衬底(000)包括铜箔；所述柔性衬底(100)的材料包括PET或聚酰亚胺；所述行电极(210)与列电极(220)在柔性衬底(100)上呈纵横交错分布，且行电极(210)与列电极(220)通过绝缘层(400)相绝缘隔离；所述行电极(210)、列电极(220)在柔性衬底(100)上采用银浆丝网印刷或CVD成膜方法形成。 【当前权利人】中科芯未来微电子科技成都有限公司 【当前专利权人地址】四川省成都市双流区东升街道成都芯谷产业园区(1号楼)集中区内 【统一社会信用代码】1232020046637256X7 【引证次数】7.0 【被引证次数】1 【他引次数】7.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】50

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