【摘要】本发明描述一种运输风力涡轮机叶片的方法，其中叶片包括内延伸件片段和外叶片片段。内延伸件片段的长度大致为外叶片片段的一半，该方法包括将一对内延伸件片段紧固在一起，以形成延伸件运输片段，由于该延伸件运输片段的长度大致与外叶片片段相同，所
【摘要】 本发明提供一种AZO薄膜、制备方法以及包括其的MEMS器件，属于透明导电薄膜技术领域。该AZO(铝掺杂氧化锌)薄膜，其形成于衬底之上，所述AZO薄膜的铝掺杂浓度在薄膜厚度方向上逐渐递增。该制备方法中使用溶胶-凝胶法制备形成该AZO薄膜。该MEMS(微机电系统)器件使用该AZO薄膜并在该AZO薄膜之上化学气相沉积成膜形成复合薄膜层。该AZO薄膜导电性能好，且能与复合薄膜层晶格匹配良好，热膨胀也相匹配，并且AZO薄膜成本低、无毒、无污染、制备简单。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 中国无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210219726.5 【申请日】2012-06-29 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103508406A 【公开公告日】2014-01-15 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103508406B 【授权公告日】2016-08-24 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】B81B7/00; B81C1/00; C23C26/00; C23C14/35; C23C14/06 【发明人】谢岩; 李展信 【主权项内容】一种铝掺杂氧化锌薄膜，其形成于衬底之上，其特征在于，所述铝掺杂氧化锌薄膜的铝掺杂浓度在薄膜厚度方向上逐渐递增。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J 【引证次数】5.0 【被引证次数】10 【他引次数】5.0 【被他引次数】10.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】10
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