【摘要】 本发明公布了一种自倾斜微机电系统微镜，包括微镜边框、镜体和驱动臂，镜体通过驱动臂与微镜边框连接，由其驱动偏转倾斜，其特征在于：所述驱动臂在无源初始状态下使镜体处于自倾斜状态。一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法，其特征在于：所述驱动臂为数种热膨胀系数不同的材料叠放而成，在高于室温的工艺制作温度下制作成平坦结构，冷却到室温释放后驱动臂向热膨胀率高的一方收缩。本发明结构初始状态就为自倾斜一定角度，便于光路的对准和安装，另外无需特殊的工艺，就能够使微镜达到自倾斜结构，并且在驱动的过程中能够保持中心的固定，同时可以根据设计版图及工艺自由控制其倾斜角度。 【专利类型】发明授权 【申请人】无锡微奥科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市新区长江路16号软件园8905室 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201210043279.2 【申请日】2012-02-24 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102540456B 【公开公告日】2014-07-02 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102540456B 【授权公告日】2014-07-02 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G02B26/08; B81C1/00 【发明人】周亮; 陈巧; 谢会开 【主权项内容】一种自倾斜微机电系统微镜，包括微镜边框、镜体和驱动臂，镜体通过驱动臂与微镜边框连接，由其驱动偏转倾斜，其特征在于：所述驱动臂在无源初始状态下使镜体处于自倾斜状态；所述驱动臂由多层组成；所述镜体两侧的驱动臂的构成材料相同但叠层顺序相反；所述镜体一侧的驱动臂的材料层从上到下为铝/二氧化硅/铂/二氧化硅，另一侧驱动臂的材料层从上到下为二氧化硅/铂/二氧化硅/铝。 【当前权利人】无锡微文半导体科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号B2-305 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320214560327474W 【引证次数】1.0 【被引证次数】2 【自引次数】1.0 【被自引次数】2.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】11

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