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集成电路装片机四自由度装片模块专利

时间:2026-08-08    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本实用新型提供了一种集成电路装片机四自由度装片模块,包括真空泵、吸嘴、顶针等。采用吸嘴和顶针,将晶圆盘上的芯片转移到引线框架上,实现芯片与引线框架的待贴片位置的对难和绑定;对准是通过数控装置保证X、Y、Z、θ四个自由度上的对准。从而保证了较高的装片精度和装片效率。。 【专利类型】实用新型 【申请人】吴华 【申请人类型】个人 【申请人地址】226006 江苏省南通市崇川路27号4栋1楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】南通市 【申请人区县】崇川区 【申请号】CN201020241029.6 【申请日】2010-06-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201717251U 【公开公告日】2011-01-19 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201717251U 【授权公告日】2011-01-19 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/677; H01L21/68 【发明人】刘建峰; 徐银森; 李承峰; 胡汉球; 苏建国; 吴华 【主权项内容】一种集成电路装片机四自由度装片模块,包含真空泵(13)、吸嘴(10)、顶针(9),其特征在于:采用吸嘴(10)和顶针(9),将晶圆盘(11)上的芯片(2)转移到引线框架(3)上,实现芯片(2)与引线框架的待贴片位置(4)的对准和绑定;对准是通过数控装置(1)保证X(5)、Y(6)、Z(7)、θ(8)四个自由度上的对准。 【当前权利人】吴华 【当前专利权人地址】江苏省南通市崇川路27号4栋1楼 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4

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