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清洗机圆片保护装置专利

时间:2026-08-07    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种清洗机圆片保护装置,包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座,固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座,且活动座的上端位于圆片边缘的上方,活动座的下端悬在销轴的下方。本发明结构合理,解决了原来部分人员在放圆片的时候未能放正,致使旋转过程中离心力过大,真空不能保护,而甩片的问题,同时也解决了部分人员有时对底盘的水吹不干净,而影响了底盘真空度的问题;再加上原有的底盘真空功能仍然可以使用,这样的话,就是在整个清洗过程中是多重保护,保证了产品品质的安全,解决了原有意外的甩片问题。 【专利类型】发明申请 【申请人】南通富士通微电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南通市 【申请人区县】崇川区 【申请号】CN201010554253.5 【申请日】2010-11-23 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102059225A 【公开公告日】2011-05-18 【公开公告年份】2011 【发明人】陈建斌; 陈斌 【主权项内容】微信  一种清洗机圆片保护装置,其特征是:包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座,固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座,且活动座的上端位于圆片边缘的上方,活动座的下端悬在销轴的下方。 【当前权利人】南通富士通微电子股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省南通市崇川区崇川路288号 【专利权人类型】股份有限公司(中外合资、上市) 【统一社会信用代码】91320000608319749X

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