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新型阴极光刻版专利

时间:2026-08-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及新型阴极光刻版,包括正面阴极版和背面阴极版,其特征是所述背面阴极版为四象限触发电流无穷大阴极版,所述四象限触发电流无穷大阴极版呈类梯形状,所述四象限触发电流无穷大阴极版光刻硅片背面后产生的图形与正面阴极版光刻硅片后产生的图形在俯视状态下无重叠。本实用新型的优点是:无需再在电路中增加保护元件,增加了电路的长期可靠性。 【专利类型】实用新型 【申请人】启东吉莱电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】226224 江苏省南通市启东市汇龙镇公园北路1261号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南通市 【申请人区县】启东市 【申请号】CN201020240859.7 【申请日】2010-06-28 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201707542U 【公开公告日】2011-01-12 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201707542U 【授权公告日】2011-01-12 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G03F1/00 【发明人】周健; 耿开远; 朱法扬 【主权项内容】新型阴极光刻版,包括正面阴极版和背面阴极版,其特征是所述背面阴极版为四象限触发电流无穷大阴极版,所述四象限触发电流无穷大阴极版呈类梯形状,所述四象限触发电流无穷大阴极版光刻硅片背面后产生的图形与正面阴极版光刻硅片后产生的图形在俯视状态下无重叠。 【当前权利人】启东吉莱电子有限公司 【当前专利权人地址】江苏省南通市启东市汇龙镇公园北路1261号

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