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一种改进的阴极光刻版专利

时间:2026-08-04    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及一种改进的阴极光刻版,包括正面阴极版和背面阴极版,其特征是所述正面阴极版在光刻可控硅片后产生的图形与背面阴极版在光刻可控硅片后产生的图形在俯视情况下形成有交叠区,所述交叠区呈钩状。本实用新型的优点是:能使可控硅四象限触发电流一致性得到明显提高。 【专利类型】实用新型 【申请人】启东吉莱电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】226224 江苏省南通市启东市汇龙镇公园北路1261号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南通市 【申请人区县】启东市 【申请号】CN201020240857.8 【申请日】2010-06-28 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201765432U 【公开公告日】2011-03-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201765432U 【授权公告日】2011-03-16 【授权公告年份】2011.0 【发明人】周健; 耿开远; 朱法扬 【主权项内容】一种改进的阴极光刻版,包括正面阴极版和背面阴极版,其特征是所述正面阴极版在光刻可控硅片后产生的图形与背面阴极版在光刻可控硅片后产生的图形在俯视情况下形成有交叠区,所述交叠区呈钩状。 【当前权利人】启东吉莱电子有限公司 【当前专利权人地址】江苏省南通市启东市汇龙镇公园北路1261号

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