【摘要】本发明公开一种金属氧化物半导体纳米薄膜气体传感器用微加热板，包括硅基底、硅岛、氮化硅截止层、二氧化硅绝热层、叉指信号电极、测温电极、加热电极；所述的硅基底具有通孔结构，硅基底的上表面包括通孔的顶部设有氮化硅截止层，氮化硅截止层上表面
【摘要】 本实用新型涉及一种非蒸散型吸气剂，其特征在于：将钡或钡合金表面封有一层保护膜，所述的钡为钡的单质金属，所述的钡合金为钡钠合金或钡钾合金或钡锂合金。其优点是：由于在钡或钡合金表面封有一层保护膜，形成保护膜的材料的挥发分解起始温度应该大于或等于10℃，沸点应该小于或等于400℃，既可以避免钡或钡合金表面在使用前接触气体，又可以保证使用中通过较低的加热温度就可以使保护膜蒸散，将钡或钡合金表面暴露在工作环境中，较低的加热温度又可以避免产生蒸散钡，形成钡膜，导致电极间的短路；由于钡或钡合金吸收真空器件中残余活性气体是通过化学反应实现的，且它们之间是不可逆的，吸气过程稳定可靠。 微信 【专利类型】实用新型 【申请人】朱雷 【申请人类型】个人 【申请人地址】210003 江苏省南京市鼓楼区新门口4号7幢202室 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201020284370.X 【申请日】2010-08-06 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201815313U 【公开公告日】2011-05-04 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201815313U 【授权公告日】2011-05-04 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B01J20/06 【发明人】朱雷 【主权项内容】一种非蒸散型吸气剂，其特征在于：将钡或钡合金表面封有一层保护膜，所述的钡为钡的单质金属，所述的钡合金为钡钠合金或钡钾合金或钡锂合金。。微信 【当前权利人】朱雷 【当前专利权人地址】江苏省南京市鼓楼区新门口4号7幢202室
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