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一种半导体器件芯片电子辐照加工方法专利

时间:2026-08-03    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种半导体器件芯片电子辐照加工方法,该方法首先根据参数大小对半导体器件芯片进行分档归类;然后将同档芯大片叠层整体排列,放入固定装置中,再放入辐照传输装置上,采用电子束对其进行扫描辐照,可以是单面辐照,也可以是双面辐照;再将经过辐照的半导体器件芯片在防氧化条件下进行热处理;最后将经过热处理的芯大片,采用常规技术制成成品管。与现有技术相比,采用本发明的方法后,可以大大提高芯大片辐照的效率,而且能够调节器件参数,保证器件参数在合格范围内,同时可以降低辐照成本、减短辐照周期、节省辐照能源、提高器件稳定性,有利于实现大规模生产。 【专利类型】发明申请 【申请人】南京大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210093 江苏省南京市汉口路22号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201010552112.X 【申请日】2010-11-19 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102082080A 【公开公告日】2011-06-01 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102082080B 【授权公告日】2012-05-02 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L21/02; H01L21/263; H01L21/324 【发明人】杭德生 【主权项内容】一种半导体器件芯片电子辐照加工方法,其特征在于包括以下步骤:A)根据参数大小对半导体器件芯片进行分档归类;B)将同档芯大片叠层整体排列,采用电子束对其进行扫描辐照;C)将经过辐照的半导体器件芯片在防氧化条件下进行热处理。 【当前权利人】南京大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市汉口路22号 【统一社会信用代码】12100000466007458M 【引证次数】7.0 【被引证次数】4 【自引次数】2.0 【他引次数】5.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】4

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