【摘要】 本发明公开了一种采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法，包括如下三个步骤：(1)处理金属，使金属原子进入气相；(2)降低进入气相的金属原子的动能；(3)将步骤(2)中获得的金属原子沉积在柔性物质表面，形成金属薄膜。本发明提供的采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法，操作简单，并能够在柔性物质表面形成清晰的柔性物质/金属界面，且金属原子基本不会扩散到柔性物质薄膜内，保证柔性物质分子不受破坏，能够使柔性物质保持完好的物理化学性质，成膜质量高，薄膜间内应力小。 【专利类型】发明申请 【申请人】南京大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210093 江苏省南京市汉口路22号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201010505416.0 【申请日】2010-10-11 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101956160A 【公开公告日】2011-01-26 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101956160B 【授权公告日】2012-07-04 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】C23C14/20; C23C14/24 【发明人】吴镝; 王申; 林立; 师玉军; 岳风娟; 都有为 【主权项内容】采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：(1)处理金属，使金属原子进入气相；(2)降低进入气相的金属原子的动能；(3)将步骤(2)中获得的金属原子沉积在柔性物质表面，形成金属薄膜。 【当前权利人】南京大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市汉口路22号 【统一社会信用代码】12100000466007458M 【引证次数】3.0 【被引证次数】4 【他引次数】3.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】4

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