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一种制备PZT压电陶瓷薄膜的方法专利

时间:2026-08-01    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种制备PZT压电陶瓷薄膜的方法,步骤为:分别称取Pb(CH3COO)2·3H2O溶液、Zr(NO3)4·5H2O溶液和Ti(OC4H9)4  溶液,并混合溶于有机溶剂中,得到混合溶液,再调节所得混合溶液pH值至3.0-5.5,得到锆钛酸铅前驱体溶胶;利用所得的锆钛酸铅前驱体溶胶成膜;将所得的膜在150-300ºC下进行预热处理1-16h;在150-300ºC水热条件下,进行水热处理1-36h,得到晶化的锆钛酸铅薄膜。本发明针对目前PZT压电薄膜制备方法中的不足,减少薄膜的宏观缺陷和裂纹,减少薄膜电极间的漏电流值,提高其压电特性,同时可促进PZT压电陶瓷薄膜在纳米制造、MEMS、超精密加工等领域的应用。 【专利类型】发明申请 【申请人】南京航空航天大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210016 江苏省南京市御道街29号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】秦淮区 【申请号】CN201010563487.6 【申请日】2010-11-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102060531A 【公开公告日】2011-05-18 【公开公告年份】2011 【发明人】朱孔军; 裘进浩; 孟庆华; 董娜娜; 季宏丽 【主权项内容】一种制备PZT压电陶瓷薄膜的低温晶化方法,其特征在于,包括下列步骤:步骤一:分别称取Pb(CH3COO)2·3H2O溶液、Zr(NO3)4·5H2O溶液和Ti(OC4H9)4   溶液,并混合溶于有机溶剂中,得到混合溶液,再调节所得混合溶液pH值至3.0‑5.5,得到锆钛酸铅前驱体溶胶;步骤二:在匀胶机上利用所得的锆钛酸铅前驱体溶胶成膜;步骤三:将所得的膜在150‑300 ºC下进行预热处理1‑16h;步骤四:在150‑300 ºC水热条件下,进行水热处理1‑36h,得到晶化的锆钛酸铅薄膜。 【当前权利人】南京航空航天大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市御道街29号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000466006826U 【被引证次数】8 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】8

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