【摘要】 本发明涉及一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光方法，采用复合材料作为研磨、抛光的工具磨盘，将其加热至适当的温度，然后作高速旋转运动；以一定压力将待加工金刚石膜/块压向磨盘表面，使其与磨盘表面发生高速摩擦，通过摩擦区的化学-机械复合循环作用，实现金刚石表面的高效研磨与抛光。该方法为化学-机械复合方式，研磨过程包括催化表层石墨化过程，机械刮除石墨层过程。在化学作用与机械作用的复合循环过程中，实现高效去除金刚石表面材料。所涉及的装置，集成了加热、加载功能，使用复合磨盘作为工具盘，其有益效果在于加工效率高，机械作用力小，加工质量好。本发明还涉及一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光装置。 【专利类型】发明申请 【申请人】南京航空航天大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210016 江苏省南京市白下区御道街29号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201010267938.1 【申请日】2010-08-30 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101972979A 【公开公告日】2011-02-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101972979B 【授权公告日】2012-03-21 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】B24B37/00 【发明人】李亮; 何宁; 卞荣; 赵威; 杨吟飞; 赵孟; 吴昊; 危卫华 【主权项内容】一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光方法，包括以下过程：(1)、将待加工金刚石膜/金刚石块压向磨盘表面；(2)、将磨盘加热；(3)、使待加工金刚石膜/金刚石块压表面发生高速摩擦，通过摩擦区的化学‑机械复合循环作用，实现金刚石膜/金刚石块表面的高效研磨与抛光；其特征在于：上述磨盘是由碳化钨铜或碳化硅铜复合材料制成，其中作为硬质材料的碳化钨或碳化硅粉末颗粒大小为2至10微米，铜的质量百分含量为磨盘材料的20％至30％，上述磨盘工作表面光洁度小于0.8微米；上述第(2)步中磨盘加热温度在200‑300摄氏度。 【当前权利人】南京航空航天大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市白下区御道街29号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000466006826U 【引证次数】8.0 【被引证次数】32 【他引次数】8.0 【被他引次数】32.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】32

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